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无尘洁净烘箱是一种新型可营造无氧的恒温环境的电热鼓风干燥箱,在加温工作的同时充入氮气,适用高温易氧化产品烘烤,可满足半导体电子、金属、晶圆、油墨、医疗卫生仪器、仪表,工厂,高等院校,科研部门等相关单位作生产烘实验的需要。该烘箱采用不锈钢工作室(满涅制造、覆套不锈钢加热器加热,充入惰性气体,因此干娱箱内造成洁净(可选装耐高温过滤器,达到洁净无尘要求)和温度均匀的微氧高温环境(含氧浓度20-500PPM ),有助于提高产品质量,该箱外形美观,使用方便控温灵敏
无尘洁净烘箱的使用注意事项及操作规程
A.以电力为热源(电加热),可长期在250°C温度下工作,提供了安全可靠的。
B.烘烤区的温度是由微电脑PID控制或采用PLC控制,可对烘箱内温度实时多点显示及自动记录。C出风口装有耐高温空气过滤器,每次运风循环均充分过滤(CLASS100 ),有效防止外界空气对内部的二次污染.D.装有过滤器,电热烘箱内部循环热风经高温空气过滤器反复过滤,了进入无尘空间的热风达到100级洁净之要求。
E双层洁净烘箱采用完全立的可编程加热控制系统及运风系统,了各洁净区之间的隔离,防止了由于误操作而引起的不符合GMP要求的事故发生。
F.必要时洁净烘箱还可加装充氮接口(充入惰性气体保护),防止被烘烤产品的氧化
无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
加热1、加热步骤在气压稳定状态下进行,否则易导致内外压强及温度差,造成外部大气冲入箱内等突发状况;2、升温过程中,加热指示灯长亮,达到设置温度后,加热自动停止,同时指示灯熄灭。待温度低于设置温度时,加热再次启动,加热指示灯亮;3、加热指示灯及温度需正常显示,若指示灯不亮需及时关闭电源并联系仪器负责人。
一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风,为了达到内部无尘的环境,需要在出风口的位置增加高温过滤装置(又分为千级和百级过滤器)。烘箱内的空气通过回风口后,一部分经过排气口排除箱外,另外的经过循环通道再次加热,后通过过滤器后回到工作室。除了过滤空气外,另外要尽量避免工作过程中产生灰尘,需要选用的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。
无尘烤箱的工作原理是通过利用热沉降法来烤材料。当烤箱内部气流流动时,热量会被沉降到接近材料表面,而表面温度则会逐渐提高,从而完成烤制过程。在烤箱内,热量会被比较地混合和分散此热量可以全面加热材料的表面和内部,使整个材料得到均匀的加热同时,由于热量的比较均匀的分布,可以明显降低蒸发现象,从而大大减少烟尘的排放。