关键词 |
等离子体源加速器,单腔ECR等离子体源,ECR同轴等离子体源,等离子体源 |
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2.45 GHz 微波等离子体源是一种用于产生等离子体的设备，它利用 2.45 GHz（千兆赫）的微波频率来产生电离气体。这种技术在各种工业和科学应用中都有重要应用。
电子器件制造：ECR等离子体源在半导体工业中，微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧，可以多个等离子体源组成等离子墙，或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。
微波等离子体源的设计和操作可能很复杂，需要仔细控制微波功率、气体流量和压力等参数。此外，采取适当的安全预防措施，因为微波辐射和高电压可能存在危险。 总之，2.45GHz 微波等离子体源是一种强大的工具，在许多需要产生等离子体的应用中都有应用。它们提供了一种、灵活的方法来控制等离子体过程，从而实现各种工业和科学应用。
